当人们谈论温室气体（GHG）排放时，重点通常是二氧化碳或甲烷。 这两种气体约占导致气候变化的温室气体的90%。但是，气候科学家监测关注的还包括了许多其他问题。其中包括六氟化硫（SF6），这是一种无色无味的气体，作为良好的气体绝缘体，被广泛用于 ...

日前，中国电气装备集团有限公司SF6气体规模集中采购（二次）项目成交人名单公告，中标企业包括：昊华气体有限公司、四川中氟能新材料科技有限公司、成都科美特特种气体有限公司、福建德尔科技股份有限公司。 本次SF6气体采购项目分为7个包号，总数量 ...

9月30日晚间，安靠智电(300617)发布公告，公司拟出资5000万元在江苏淮安工业园区设立全资子公司江苏安靠新材料有限公司（简称“安靠新材料”）。安靠新材料拟投资不超过2亿元建设“年产2500吨高端氟材料项目（500吨全氟异丁腈、1000吨六氟丙烯二聚体及1000吨全 ...

，W刻蚀工艺中使用SF6作为主刻步气体，并通过加入N2以增加对光刻胶的选择比，加入O2减少碳沉积。在W回刻工艺中分为两步，第一步是快速均匀地刻掉大部分W，第二步则降低刻蚀速率减弱负载效应，避免产生凹坑，并使用对TiN有高选择比的化学气体进行刻蚀。

近日，国网湖北超高压公司牵头申报的《SF6废气常压微波等离子体降解处理技术研究与应用》成功通过国家电网有限公司2025年总部科技项目指南答辩，获批立项。 项目旨在通过SF6（六氟化硫）废气常压微波等离子体降解处理技术攻关、装备升级和成果应用 ...