【精品课程】数字集成电路 第9课 VLSI制造&自对准工艺和&工艺变异
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【精品课程】数字集成电路 第9课 VLSI制造&自对准工艺和&工艺变异
本段SRT字幕主要讲解了VLSI（超大规模集成）制造工艺的核心原理与关键挑战。首先解释了VLSI类似于印刷术，通过一系列光刻掩模版（工艺步骤）能在晶圆上一次性制造出大量器件。然后重点回顾了CMOS制造流程中的关键步骤——自对准工艺 ...
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